主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

一、產(chǎn)品簡介

　　SuperView W5 光學(xué)3D表面輪廓儀主要用于對不規(guī)則工件的表面粗糙度、波紋度進(jìn)行高精度測量，在五軸位移臺（XYZ位移軸、偏擺旋轉(zhuǎn)平臺）及工裝夾具的配合下，根據(jù)提供的工件模型實(shí)現(xiàn)快速定位，并可根據(jù)在軟件中輸入的指定坐標(biāo)位置自動調(diào)整五軸臺的位移使得白光測量頭能夠快速位移到工件上指定的坐標(biāo)位置并進(jìn)行測量并獲取測試數(shù)據(jù)，并在后續(xù)由軟件進(jìn)行分析，獲取關(guān)于粗糙度、波紋度的2D/3D數(shù)據(jù)。

　　SuperView W5 光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、產(chǎn)品功能

1)樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；

2)自動測量功能：自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能；

3)編程測量功能：可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；

4)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

6)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

三、應(yīng)用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡	精密加工.發(fā)動機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

四、應(yīng)用案例：

五、樣品測試報告：

　　點(diǎn)擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細(xì)報告數(shù)據(jù)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。