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特點：
安裝有低噪音和數(shù)字輪廓檢測器。
配備寬量程無導(dǎo)頭粗糙度檢測儀。
具有良好的大范圍輪廓測量、微觀輪廓測量性能。
寬范圍粗糙度測量。
用于高精度、寬范圍粗糙度和輪廓測量的集成儀器。
技術(shù)規(guī)格：
| 型號 | CBPR1000 | CBPR2000 | |
| 柱子 | 范圍 | 320～620毫米 | |
| 驅(qū)動單元 | 范圍 | 100～200毫米 | |
| 指示精度[1] | ±(1+2L/100)μm | ±(0.8+2L/100)μm | |
| 直線度[2] | ≤0.8微米/100毫米 | ≤0.5微米/100毫米 | |
| 輪廓檢測器 | 范圍 | 0～±20毫米 | |
| 指示精度[3] | ±（1.3+6 |H| /100）μm | ±（0.6+5 |H| /100）μm | |
| 解決 | 0.01～0.2微米 | ||
| 粗糙度檢測儀 | 范圍 | ±300微米 | ±500微米 |
| 距離分辨率 | 1:65536 | 1:262144 | |
| 指示精度 | ≤±(7nm+3.5%) | ≤±(5nm+3.5%) | |
| 重復(fù)性[4] | 1σ≤2納米 | 1σ≤1納米 | |
| 輪廓精度 | 弧線[5] | ≤±(2+R/8)μm | ≤±(1.5+R/12)μm |
| 角度[6] | ≤±2' | ≤±1' | |
| 粗糙度精度 | 殘余噪聲[7] | ≤10納米 | ≤5納米 |
| 行駛速度 | X軸（水平方向） | 0.1～10毫米/秒 | 0.05～15毫米/秒 |
| Z軸（立柱） | 0.5～10毫米/秒 | 0.2～15毫米/秒 | |
| 輪廓測量功能 | 工件表面線特征、點特征、點間距離、線間距離。各特征的位置精度，包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑、直線精度、凸度、輪廓分析。 | ||
| 粗糙度測量功能 | 粗糙度函數(shù)：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、 Mr2、Rmr 波度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr | ||
[1]：（L：測量長度）
[2]：（λc為2.5mm，光學(xué)平面采樣速度≤0.3mm/s。）
[3]：（H：測量高度）
[4]：（方波測量標(biāo)準(zhǔn)量塊，Ra為0.35 ~ 0.5μm。）
[5]：（R：標(biāo)準(zhǔn)球，2mm＜R＜10mm，采樣弧角為120°。）
[6]：（60°和90°角度塊規(guī)，采樣角度邊緣長度為5mm。）
[7]：（λc為0.08mm，光學(xué)平面采樣速度0.1mm/s。）
應(yīng)用：
