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經(jīng)濟高效的粗糙度和輪廓一次性測量解決方案。
采用高剛性、高精度、免維護的直線運動導軌，可以控制具有高精度性能的測量系統(tǒng)。
應用案例
技術(shù)規(guī)格
| 模型 | 因菲克斯10 | |
| 柱子 | 測量范圍 | 0-620mm可選 |
| 驅(qū)動單元 | 測量范圍 | 0-220mm可選 |
| 指示精度 | ±(0.8+2L/100)μm | |
| 直線度 | ≤0.3μm/100mm | |
| 探測器 | 測量范圍 | ±10毫米 |
| Z1軸輪廓指示精度 | ≤±(0.8+|0.12H|)μm | |
| Z1軸粗糙度指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) | |
| 重復性 | 1δ≤2nm | |
| 殘留噪音 | ≤0.012μm | |
| 手寫筆 | 標準，金剛石5μm/90° | |
| 測量精度 | 弧 | ≤±(1.2+R/12)μm |
| 弧鉑 | ≤±0.3μm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
